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產品簡介
四探針電阻率測試儀/四探針電阻率儀/方阻測試儀/方阻儀/四探針電阻率測定儀 型號：DP-KDY-1
四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量份（簡稱：主機）、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點是主機配置雙數字表，在測量電阻率的同時，另塊數字表（以分之幾的度）適時監測程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供度為0.05%的恒流源，使測量電流度穩定。本機配有恒流源開關，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生，地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數據處理器，測量硅片時可自動行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。
2、主機能數
（1）測量范圍：
可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm
可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續可調
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數字電壓表：
測量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數+0.01%滿度）
輸出電源：≥1000ΩM
（4）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 率：12W
（5）使用環境：
溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
無較強的電場干擾，無強光直接照射
（6）重量、體積：
主機重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×度）
備注：
等級測量時（測電阻率），度<3%
電氣測量時（測電阻），度在0.3%以內
備注：
儀器包括：主機臺；測試架（包括臺面）個；四探針頭1個
2.
氟離子濃度計/氟離子檢測儀/氟離子測試儀/氟離子計
型號：DP-MP519
| ●符合規范的GLP要求，具有自動校準、自動溫度補償、數據儲存、RS232輸出、時鐘顯示和能設置等化能。 |
| ● 有三種不同的測量模式：穩定顯示模式；定時測量模式；連續測量模式。 |
| ● 氟電量程: 1～6 pF （10-1 ～10-6 mol/L）。 |
| ● 配置電：氟離子電，參比電和溫度電。 |
| ● 可切換四種離子濃度單位：pX、mol/L、mg/L和ppm. |
| ● 儀器帶有*的產品序列號。 |
| ● 符合IP54防塵防濺等級，儀表插口有硅膠帽密封保護。 |
| mV | 測量范圍 分辨率 準確度 | -1999.9mV ~ 0 ~ 1999.9mV 0.1mV ±0.1% FS |
| 氟離子 | 測量范圍 顯示單位 準確度 輸入電流 輸入阻抗 穩定性 溫度補償范圍 | 電計：（0.00~9.00）pF；配套：（1.00~7.00）pF pF、mol/L、mg/L、ppm ± 0.01 pF ≤2×10-12 A ≥1×1012 Ω ±0.01 pF/3h （0 ~ 50）℃（自動或手動） |
| 溫度 | 測量范圍 分辨率 準確度 | -10℃~ 110℃ 0.1℃ 5~ 60℃范圍：±0.5℃ 其余范圍：±1.0℃ |
| 其他參數 | 數據儲存 儲存內容 電源 通訊接口 尺寸和重量 質量和安認證 | 600組 測量值編號、測量值、溫度值、ATC或MTC狀態、測量日期、測量時間 DC9V/300mA RS232 160 × 190 × 70mm/880g ISO9001:2008, CE和CMC |
| 作條件 | 環境溫度 環境濕度 IP等級 | 5 ~ 35 ℃ ≤85% IP54 防塵防濺 |
| 1. DP-MP519氟離子濃度計電計 | 1臺 |
| 2. F502 型氟離子電 | 1支 |
| 3. 6211－M型參比電 | 1支 |
| 4. DP-MP500型溫度電 | 1支 |
| 5. 602型向電架 | 1個 |
| 6. 901型攪拌器 | 1臺 |
| 7. B628攪拌珠 | 三粒 |
| 8. 9V電源適配器（儀器使用） | 1個 |
| 9. 6V電源適配器（攪拌器使用） | 1個 |
| 10.RS232通訊電纜 | 1根 |
| 11.DP-MP519通訊軟件光盤 | 1張 |
| 12. 說明書 | 1份 |
| 13. 簡要操作南 | 1份 |
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